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[常见问题] 真空镀膜设备镀铝工艺中的常见问题
1、真空镀膜设备镀铝时膜上出现孔洞原因:①蒸发船的铝太多了。解决方法:下降送铝速度;正向蒸发船流。②真空室中的蒸发舟之间存在短路。解决方法:铲除短路。③真空室中的杂质飞溅2、真空镀膜设备镀铝时薄膜有拉伸现象①基板张力过高。解决方法:发布时间:2022-05-14 点击次数:0