镀前准备→抽真空→离子轰击→烘烤→预熔→蒸发→取件→膜层表面处理→成品

　　1、镀前准备

　　工序包括镀件清洗、蒸发源制作与清洗，真空室镀件夹具清洗、安装蒸发源、装镀件等。

　　①镀件的清洁和处理

　　膜与镀件表面的结合力是产品质量的重要指标。它由许多因素决定，镀膜前的表面处理是最基本的因素之一。如果镀件表面有油脂、吸附水和灰尘，会降低膜的结合力，影响表面粗糙度。

　　化学除油：各种不同的金属与非金属镀件应采用相应的脱脂除油工艺，具体方法可在本网技术栏目搜索除油查看相关文章。

　　静电除尘：镀件在成型的过程中容易带静电，而使膜层产生针孔或降低膜的结合力，因此在涂底漆前须除去静电。

　　涂底漆：一般蒸发底的膜层厚度0.05~0.1um，而普通镀件的表面不平度为0.5um，膜层的厚度远不足以填补凹坑。为降低表面粗糙度，一般在镀件表面涂7~10um的特制底漆，以消除凹坑，取得整平表面的效果。

　　②蒸发源的制作

　　按照产品的使用要求和镀件的材质，选择适当的蒸发材料是获得优质膜层的基本条件。

　　选用金属膜材料的基本原则是：应有良好的热稳定性和化学稳定性，机械强度高，内应力低，并有一定的韧性，与底漆结合性良好，反光率高，真空中放气量小;材料来源广，价格低廉，具有相应的蒸发源。

　　不同的蒸发材料，需选用相应的蒸发源和蒸发镀方式。

　　③真空室和镀件夹具的清洗

　　有内罩的真空室污染，可取下罩清洗或更新，若无内罩可用碳酸钙擦拭，再水擦，最后用无水乙醇擦净。

　　常用的铝夹具可先用20%NaOH液浸泡至表面呈褐色，再用流水冲洗净，用HNO3浸至褐色消失，再水洗烘干。

　　④安装蒸发源

　　注意戴脱脂手套，工具要事前脱脂。特别注意蒸发源与电极良好接触。

　　⑤放置镀件

　　应平稳牢固放置在镀件地和镀件夹上，以防蒸发时因夹具旋转而将镀件抛离夹具，需戴脱脂手套，不得讲话，保持镀件夹具清洁。

　　2、抽真空步骤

　　开启冷却水阀，调节到所需水压，打开总电源，关闭通往真空室的大气阀，关闭配管阀，启动机械泵电源，打开预真空阀。此时，机械泵吸入真空室，然后进行离子轰击，打开扩散泵的加热电源，关闭预真空阀，当扩散泵满足工作要求时，关闭真空阀，打开配管阀，打开高真空阀，此时，扩散泵、机械泵吸入真空室，真空度达到一定值后进行烘烤、预熔、蒸发。

　　3、离子轰击

　　辉光放电时，离子轰击电子获得很高的速度，在镀件周围因电子较大的迁移率而迅速带有负电荷，在负电荷吸引力的作用下，正离子轰击镀件表面，镀件表面有能量交换，在镀件吸附层和活性气体之间发生化学反应，达到清洁表面的效果。

　　离子轰击的条件是剩余气体压力稳定在0.13~13Pa，电压为1.5~10kV，时间为5~60min。

　　4、烘烤

　　可加速镀件或夹具吸附的气体迅速逸出，有利于提高真空度和膜层结合力，烘烤时需注意，对于非金属烘烤温度要低于镀件的热变形温度20~30℃，对金属烘烤一般不超过200℃。

　　5、预熔

　　可除去蒸发材料中低熔点杂质和蒸发源及蒸发材料中吸附的气体，有利于蒸发的顺利进行，预熔的真空度一般为6.6×10-3Pa，时间以完全熔化为止，对吸湿性大的物质应反复预熔，总的要求是在蒸发材料升温到蒸发温度时，真空度不再下降。

　　6、蒸发

　　蒸发技术对涂层质量有很大影响，对一般金属、特殊金属和化合物有不同的要求。比如有些金属需要快速蒸发，而其他金属不适合。加热方法和蒸发源的形状应根据蒸发材料的不同而定。