真空镀膜设备厂家告诉您如何给设备进行保养
发布日期：2022-07-21
1、真空镀膜设备厂家提醒您当设备完成200个镀膜程序以上，就应去清洁。方法是：用烧碱（NaOH）饱和溶液反复擦洗真空室内壁，目的是使镀上去的膜料铝（AL）与NaOH发生反应，反应后膜层脱落，并释放出氢气。再用清水清洗真空室和用布沾汽油清洗精抽阀内的污垢。
2、当粗抽泵（滑阀泵，旋片泵）连续工作一个月（雨季减半），需替换好新油。方法是：拧开螺栓，放掉旧油，再将泵启动数秒，使泵内的旧油完全排放出来。拧回放油螺栓，加入新油至额定量（油视镜观察）。真空镀膜设备厂家建议您如果设备连续使用半年以上，换油时应将油盖打开，用布擦干净箱内污垢。
3、扩散泵连续使用6个月以上，抽速明显变慢，或操作失当，充入大气，拆去联结水管，卸下电炉盘，将喷嘴拧出，先用汽油将泵腔及泵胆清洗一遍，再用洗衣粉兑水清洗一遍，然后用清水清洗干净，待水份挥发干以后，装好泵胆，加入新扩散泵油，并装回机体，接好水管，装好电炉盘，便可以重新开机。在重新开机前，要注意检漏工作。方法是：启动维持泵，关好大门，数分钟后，观察扩散泵部分真空度是否有6X10帕，否则要进行检漏。检查联接处是否装密封胶圈，或压坏密封圈。排除漏气后方可加热，否则扩散泵油会烧环，无法进入工作状态。
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