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光学蒸发真空镀膜机的各项特点

发布日期:2022-04-09

光学蒸发真空镀膜机在生活中被广泛运用,蒸发真空镀膜机原理是利用膜材加热装置的热能在真空条件下使膜材原子靠热运动而逸出膜材表面,并沉积到基片表面上的一种沉积技术。 光学蒸发真空镀膜机-清洗方法 真空工艺进行前应清洗真空材料,从工件或系统材料表面清除污染物;车灯镀膜机零部件的表面清洗处理也是很有必要的,因为由污染物所造成的气体、蒸气源不仅会使真空系统不能获得所要求的真空度。而且由于污染物的存在,同时也会影响真空部件连接处的强度和密封性能。污染物可以定义为“任何一种无用的物质或能量”,多弧离子镀膜机根据污染物的物理状态可分为固体、气体及液体,它们以膜或散粒形式存在。就其化学特征来看,它可以处于离子态或共价态,可以是无机物或有机物。暴露在空气中的表面易受到污染,污染的来源有多种,初的污染通常是表面本身形成过程中的一部分。吸附现象、化学反应、浸析和干燥过程、机械处理以及扩散和离析过程都使各种成分的表面污染物增加。比较常见的真空材料表面上的污染物具体有以下几种类型。 ①油脂:加工、装配、操作时沾染上的润滑剂、切削液、真空油脂等; ②水基类:操作时的手汗、吹气时的水汽、唾液等; ③表面氧化物:材料长期放置在空气中或放置在潮湿空气中所形成的表面氧化物; ④酸、碱、盐类物质:清洗时的残余物质、手汗、水中的矿物质等; ⑤抛光残渣及环境空气中的尘埃和其它有机物等。 清洗后的表面根据要求分为原子级清洁表面和工艺技术上的清洁表面两类。前期到位的清洗工作可以减少很多麻烦,避免溅控溅射镀膜机很多小问题的发生,对工作效率、真空镀膜机镀膜质量都具有非常积极的作。可大大提高真空系统中所有器壁和其它组件表面在各工作条件下的工作稳定性。这些工作条件包括:高温、低温、以及电子、离子、光子或重粒子的发射和轰击。

真空镀膜机

真空镀膜机设备

光学蒸发真空镀膜机-加热特点 光学蒸发真空镀膜机内存在着蒸发源,是用来加热靶材的,具体可以通过电阻式加热、感应加热、电子束加热、雷射加热、电弧加热这几个方面进行。其中电阻方式是用得多的,因为其工作原理是简单,通过电流使电阻升温来使靶材加热,容易操作,相应的设备构造不复杂,价格便宜。感应方式就是高频感应加热,通过高频电流感应.使靶材自身产生电流从而加热蒸发,这种方式效率高,速度快,由于是自己产生热量,所以大一点的靶材也可以很快的加热。电子束方式是对电子枪加以高压电流,产生电子束使蒸发源加热,这是一种可以产生极高温度的方式,达到3千摄氏度都没问题。 雷射方式运用的是激光束,通过光学聚集,射在蒸发源上加热,与电子束区别在于激光束是以微细颗粒脱离,电子束是以分子脱离,雷射加热蒸镀的膜层品质更好。电弧方式运用的是弧光放电的方式加热,即使基板不加热也可以镀出很好的膜层,对于那些熔点高的金属或化合物也可以蒸镀,不会像电阻加热那样产生污染。 以上这五种真空蒸发镀膜机加热方式各有各的优点,可以按照客户不同的需求来相应进行配置。 光学蒸发真空镀膜机-优势特点 在真空下进行的蒸发操作。真空蒸发可以降低溶液沸点,故具有以下优点: ①可处理高温下易分解的热敏性物料,如牛奶、果汁、蜂蜜和抗生素等。 ②增大传热推动力,提高蒸发器单位传热面积的蒸发量。 ③可利用低温热源,降低能耗。多效蒸发装置中的后几效都是在真空下操作的。然而,溶液降温会使粘度增大,导致传热系数减小。


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