真空镀膜机常见的故障及维修办法

发布日期：2022-03-26

在进行真空镀膜机故障排除时，应先检测低真空是否正常（机械泵、罗茨泵、管道、下室、蒸发室），低真空正常后再开主泵，主泵正常后检测下室真空中是否正常，下室真空正常再开高阀进行高真空检测检漏，直至达到真空，极限真空、保真空、恢复真空，如极限真空和保真空正常，而恢复真空和真空不正常则可能主泵有问题。

下面就让我们来了解下真空镀膜机在使用过程中的常见故障及维修方法。